目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。下面是螺杆真空泵的优点：

a、对被抽系统无污染，可获得洁净真空

b、泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收或者排入焚烧炉内焚烧。

C、结构紧凑，占地面积小。

D、单泵即可达到40Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽。

E、因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。

F、对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。

G、根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。

H、螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便：启动泵后直接从泵口充入惰性气体或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。

I、螺杆真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性气体。