真空泵是根据一定的工作原理,用于产生、改善和维持真空环境,是直接影响真空成套设备性能质量的重要设备。在医药、化工、食品、电子等下游行业中,真空泵得到了广泛的应用,其需求量很大。一般真空范围可分为三个级别:1、粗低真空,气压760~10~3 Torr,主要用于食品、化工、轻工、制药等行业。2、高真空,主要用于集成电路、半导体制造及各种镀膜工艺、各种表面处理工艺、离子注入等。3超高真空,主要用于材料科学分析、物理现象研究、表面分析高纯材料制备等。
真空泵是根据一定的工作原理,用于产生、改善和维持真空环境,是直接影响真空成套设备性能质量的重要设备。在医药、化工、食品、电子等下游行业中,真空泵得到了广泛的应用,其需求量很大。一般真空范围可分为三个级别:1、粗低真空,气压760~10~3 Torr,主要用于食品、化工、轻工、制药等行业。2、高真空,主要用于集成电路、半导体制造及各种镀膜工艺、各种表面处理工艺、离子注入等。3超高真空,主要用于材料科学分析、物理现象研究、表面分析高纯材料制备等。